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產品資料
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日本易威奇iwaki適用于各類供藥系統(tǒng)氣泵

產品名稱: 日本易威奇iwaki適用于各類供藥系統(tǒng)氣泵
產品型號: FS-N 系列
產品特點: 日本易威奇iwaki適用于各類供藥系統(tǒng)氣泵FS-N 系列
高速沖程 (FS-80Ngao達200 spm),讓結構緊湊、重量輕、成本低,可同時用于高流量及高壓力工況。

日本易威奇iwaki適用于各類供藥系統(tǒng)氣泵 的詳細介紹

日本易威奇iwaki適用于各類供藥系統(tǒng)氣泵FS-N 系列

日本易威奇iwaki適用于各類供藥系統(tǒng)氣泵


高速沖程

高速沖程 (FS-80Ngao達200 spm),讓結構緊湊、重量輕、成本低,可同時用于高流量及高壓力工況。

無污染設計

過流端采用氟樹脂無污染構造,使用*的軸封顯著降低顆粒的產生。

高流量及高吐出壓力
大吐出量高達0.7MPa,不僅滿足化學供藥過程中高流量及高吐出壓力的需求,同時適用于清洗及CMP制程。

傳感器驅動系統(tǒng)

內置式開關通過傳感器驅動系統(tǒng)打開/關閉電磁閥。因此,即使連接各種控制器,亦可以輕易控制吐出量。

日本易威奇iwaki適用于各類供藥系統(tǒng)氣泵FS-N 系列

日本易威奇iwaki適用于各類供藥系統(tǒng)氣泵

規(guī)格

大吐出量

100 L/min

大吐出壓力

0.7 MPa

大耗氣量

1495 NL/min

大沖程率

100 spm

主要材質

PTFE, PFA

液體輸送溫度范圍

5 ~ 60 °C

高速沖程

高速沖程 (FS-80Ngao達200 spm),讓結構緊湊、重量輕、成本低,可同時用于高流量及高壓力工況。


無污染設計

過流端采用氟樹脂無污染構造,使用*的軸封顯著降低顆粒的產生。

高流量及高吐出壓力
大吐出量高達0.7MPa,不僅滿足化學供藥過程中高流量及高吐出壓力的需求,同時適用于清洗及CMP制程。


傳感器驅動系統(tǒng)

內置式開關通過傳感器驅動系統(tǒng)打開/關閉電磁閥。因此,即使連接各種控制器,亦可以輕易控制吐出量。



日本易威奇iwaki適用于各類供藥系統(tǒng)氣泵

規(guī)格

大吐出量

100 L/min

大吐出壓力

0.7 MPa

大耗氣量

1495 NL/min

大沖程率

100 spm

主要材質

PTFE, PFA

液體輸送溫度范圍

5 ~ 60 °C



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