日本DENSOKU電測Beta線膜厚度計BTC-221

日本DENSOKU電測Beta線膜厚度計BTC-221

從薄到厚
新系統(tǒng)，可實現(xiàn)高精度測量

·使用個人計算機大大提高了可操作性和功能。
·高精度地測量薄到厚的物體
·也可以測量小面積
·輕松編程特殊校準曲線
·計數(shù)校正很容易，不需要GM管預熱

β線膜厚度計BTC-221的特點
大大提高了可操作性和功能

使用個人計算機可以大大提高可用性和功能。

從薄到厚的物體測量，精度高

通過改變輻射源，可以高精度地從薄物體到厚物體進行測量。

可以測量小面積

可以通過更換面罩來測量小面積。有各種口罩可供選擇。

輕松編程特殊校準曲線

可以進行多點校準輸入（2到9個點），并且可以輕松編程特殊校準曲線。

輕松計數(shù)校正

可以隨時進行計數(shù)校正，并且可以在不加熱GM管的情況下進行高精度測量。

多可存儲40條用于測量的校準曲線

多可存儲40條用于測量的校準曲線。存儲的校準曲線可以復制到其他通道。

校準曲線可以通過材料的單點校正進行重新校準

校準曲線可以通過材料的單點校正進行重新校準。

設(shè)置上限和下限

您可以設(shè)置有效測量值的上限和下限。

測量膜厚度和組成比

合金膜可以測量膜厚度和組成比。

可以在直徑為80mm或更大的管道中進行測量

如果φ80mm或更大，則可以在管道中進行測量。

可以隨時刪除由于測量誤差導致的薄膜厚度值

可以隨時刪除由測量誤差引起的膜厚值。

時間和單位可以任意設(shè)定

測量時間可以任意設(shè)置1至999秒。可以隨時更改測量單位，μm，MI，mil，成分％和計數(shù)％，并自動轉(zhuǎn)換測量值。

測定原理

當物質(zhì)被β射線照射時，其部分被吸收并且其一部分被透射。 有些是透明的。 一些向后散射，劑量根據(jù)材料的厚度和外來電子的數(shù)量（電子數(shù)量）而變化。 由于隨著厚度增加直到其達到不能檢測到劑量增加的飽和厚度，反向散射量增加（或減少），所以可以通過比較基板的反向散射量與涂層的反向散射量來測量厚度。你。
因此，隨著基板和涂層之間的原子序數(shù)的差異增加，測量精度增加，并且隨著原子序數(shù)的差異減小，測量精度降低。 如果原子序數(shù)差至少為10％，則可以測量薄膜。